Weißlicht-Interferometer interferoMETER

Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Absolut-Interferometer ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Die Interferometer werden für die absolute Abstandsmessung sowie die Dickenmessung von transparenten Objekten und Wafern eingesetzt.

Überzeugen Sie sich: Messgenauigkeit auf höchstem Niveau für Anwendungen in Industrie und im Halbleitermaschinenbau.